无尘室的保养原则

1、不产生  1、生产自动化及人员不聚集．动作放轻。  2、 洁净室内装材料的适当选用。  3、无尘衣及洁净室专用器具的使用及管理。  4、制程设备的发尘抑制。

2、不堆积  1、有计画有基准的实施清扫的工作。  2、不造成不易清扫的死角，机器外围要易于清除。  3、风管及配置要避免露于室内。

3、不带入  1、机器．材料．工具．须经清洁方可进入洁净室。  2、 非必要之物品禁止携入  3、作业人员须依规定更衣经浴尘室再进入洁净室。  4、建物要紧密，HPEA及框架没有泄漏。  5、室内保持正压。

4、排除  1、施工后须马上清洁。  2、气流的形成要设计得当，防止尘埃附着在产品上。  3、污染源须有排气设备直接吸除。  4、换气次数须足够符合规定。