Tanner L-edit 阵列

1、打开软件，画出你需要的图案。

这里简单画了一个矩形作为示范。

这个cell是“cell0”

2、从菜单里面点击“Cell”-->“New”，创建一个新的cell。

或者使用快捷键“N”，也可以创建一个新的cell。

在“Cell name”里面给它命名，这里写的“copy”。

选择“打开新的窗口”，之后点击“确定”。

3、在新的cell“copy”里面，用快捷键“I”，出来一个新的窗口。

在“Instance name”后面输入名字，这里的是“array”。

4、步骤三之后，能在Cell“copy”里面看到一个图案，就是示例的“array”。

鼠标选中“array”后，同时按住“Ctrl”和“E”，出现“Edit Object”窗口。在这个窗口中进行阵列参数的设置和调整。

比如设置阵列的个数“Repeat Count”。

阵列个数分X和Y两个方向，“Delta”是每个图案之间的距离。

这里设置的是X方向4个，Y方向3个，距离是20微米。

5、根据设置的参数，最后得到一个4*3的阵列图。

可以随时用“Ctrl”+“E”调出参数设置的窗口进行调整，得到不同的阵列。

6、在“Window”中打开“Cell0”，对原来的图案进行修改。

再从“window”中打开“Copy”，可以看到阵列的图案也会跟着发生改变。