白光干涉仪怎样计算凹槽深度
1、在X或Y Profile曲线上将R, M拉至同一水平面。
2、右键单击网格，选择Date Leveling。
3、选择Two Point Linear Fit，电机Caculate对平面进行拉平。
4、再移动R和M光标至特征凹槽处进行测量，读取数值。
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