等离子清洗机使用小技巧

1、A、将真空探头和延长管件缠绕生胶带后与三通连接阀连接。如图所示

B、将连接完整的管件与舱门连接 。

C、将真空软管套于腔体尾部，并将管卡锁住腔体和软管的连接处

2、三通阀指向关闭状态（箭头向下），此时一般为抽真空状态下的操作

3、A、 首先接通电源，开动真空泵，看真空泵的旋转方向为顺时针（检测后，关闭电源）；

B、在真空泵与等离子清洗机密封连接的前提下，开动真空泵，然后用反应舱盖盖住反应舱，让真空泵转大约5分钟。此时真空泵在抽真空舱体内的空气（此时等离子清洗机处于关机状态）； 

C、大约五分钟后，等离子舱体就会慢慢产生辉光。

4、A、 抽空真空舱内的空气 

a、放置样本入舱内； 

b、关闭三通阀（箭头朝下）； 

c、握住清洗机门靠近真空舱； 

d、 开启真空泵上的电源开关，等几分钟待抽空舱内空气，清洗机门合上。 

B、 抽气 

a、打开三通阀与室内空气相通，（lever指向针形阀needle valve）； 

b、轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(needle valve要先关闭)。 

C、 形成等离子 

a、开启等离子清洗机前面控制面板的电源开关； 

b、用RF开关，选择适当的RF频率； 

c、透过等离子侧面或是上面的孔观测，直到看到辉光。空气的辉光发电应该是紫粉色。这显示等离子产生了； 

d、 轻轻调节针型阀，直到等离子密度明显最大化。 

D、 等离子处理 

a、按所需时间处理样本； 

b、处理完毕后，把RF关掉（off）； 

c、关闭等离子清洗机。