FDMS系列薄膜介电测量系统

1、FDMS系列薄膜介电测量系统技术规格

探针臂个数：4个或6个

AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz

测量温度：-160℃~400℃/10K~675K

测量参数：Z,Ø,L,C,R,Q,D,Y,G,B,X

降温时间：~45min to 110K

2、FDMS系列薄膜介电测量系统测量原理

样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

3、  Partulab CPS系列低温真空探针台

  配置：

  CPS-7000 低温真空探针台  （二选一）

  --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  --液氮传输系统

  CPS-8000 低温真空探针台  （二选一）

  --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  PPS-90 真空辅助系统

  --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

  VSZ70KIT 可视化视觉系统

  --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

4、Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）

配置：

6500B 精密阻抗分析仪

--6510测量频率 20Hz 至 10MHz                        

--测量参数Z, Ø, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X；  --精度0.05% ；

--可选±40V直流偏压

Partulab DielectricMeaskit 测量套件

配置：

FT-BNC  同轴真空BNC Feedthrough

--4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆；CSH-DE  介电同轴样品固定座

--模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好； DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

--阻抗50欧姆的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm； PA-DE 介电测量探针臂

--介电用的测量探针臂，带热沉  ；MEMS多功能材料电学测量分析软件

--附带全套介电功能测量分析软件