薄膜介电测量系统（配置及原理）祥情

1、  Partulab CPS系列低温真空探针台

  配置：

  CPS-7000 低温真空探针台  （二选一）

  --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  --液氮传输系统

  CPS-8000 低温真空探针台  （二选一）

  --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

  --SRS CTC-100温控仪及传感器

  PPS-90 真空辅助系统

  --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

  VSZ70KIT 可视化视觉系统

  --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源

2、  Wayne Kerr 6500系列阻抗分析仪（选件）

  配置：

  6500B 精密阻抗分析仪

  --6505测量频率 20Hz 至 5MHz（四选一）

  --6510测量频率 20Hz 至 10MHz（四选一）

  --6520测量频率 20Hz 至 20MHz（四选一）

  --6530测量频率 20Hz 至 30MHz（四选一）

  --测量参数Z, Ø, L, C, R, Q, D, Y, G, B, X 

  --精度0.05% 

  --可选±40V直流偏压

3、  Partulab DielectricMeaskit 测量套件

  配置：

  FT-BNC  同轴真空BNC Feedthrough

  --4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆

  CSH-DE  介电同轴样品固定座

  --模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好

  DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具

  --阻抗50欧姆的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25µm

  PA-DE 介电测量探针臂

  --介电用的测量探针臂，带热沉

  MEMS多功能材料电学测量分析软件

  --附带全套介电功能测量分析软件

4、原理：样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确的控温环境。为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。