佰力博薄膜介电测量系统

1、佰力博薄膜介电测量系统技术规格

探针臂个数：4个或6个

AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz

测量温度：-160℃~400℃

降温时间：~45min to 110K

测量精度：0.05%

真空度：~10-6 mbar

测量参数：C电容

最大样品尺寸：≤51mm

C-V测量的电压：内置±40V DC偏置装置

碳化钨探针夹具阻抗：50Ω

XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm数据传输：4个USB接口

2、测量原理

测量时为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂必须做热沉处理。系统配置3个低温传感器，在样品台，屏蔽罩和探针臂上，通过监测三个地方的温度来确保有一个准确的控温环境。（注意：样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键。）